О предприятии
АО «Протон» является ведущим производителем оптоэлектронной техники в России. Предприятие работает с 1972 года и владеет современными технологиями по производству оптоэлектронных приборов, осуществляя полный цикл производства от кристаллов до законченных изделий.
Задача
Современные тонкие технологии производство кристаллов требуют очень высокой степени очистки применяемой воды. Общим показателем, характеризующим загрязнение воды в электронной промышленности, является общий органический углерод (ООУ или TOC в англоязычном варианте). На производственную линию должна поступать вода с ООУ менее 5 мкг/л.
Решение
НПО «ЛИТ» была разработана установка со специальными УФ-лампами, которые излучают на двух длинах волн – 254 и 185 нм. Такое излучение позволяет одновременно и обеззараживать воду, и разрушать вещества, которые входят в показатель ООУ.
Параллельная работа с уже применявшимся западным оборудованием показала, что российское оборудование ничуть не уступает европейским образцам. Эффективность снижения ООУ составила более 10 раз – с 50 мкг/л до менее 4,5 мкг/л.
